Hauptthemen dieser Diplomarbeit ? ausgefuhrt am Forschungslabor der Firma IBM in Ruschlikon - waren die Charakterisierung und Herstellung von Multimode-Wellenleitern auf Polymerbasis, welche in optischen High-Speed Printed Circuit Boards (PCB) einlaminiert werden. Die Arbeit stellt einen Teil eines Forschungsprojektes dar, mit dem Ziel der Entwick-lung von schnellen optischen Datenverbindungen innerhalb von Serversystemen und Prozessorkarten, wobei Datenubertragungsraten von bis zu 12.5 Gigabit erreicht werden sollen. Die Herstellung der Wellenleiter soll sich an die herkommlichen Prozesse fur die Produktion von PCBs anlehnen und dadurch eine entsprechende Kompatibilitat ermoglichen.

In dieser Arbeit wurden Multimode-Wellenleiter auf Polymerbasis in Vielschichtsystemen (gestapelte zweidimensionale Strukturen) mit unterschiedlichen Herstellungsverfahren prozessiert und charakterisiert. Dies beinhaltet folgende Arbeiten:

• Charakterisierung und Optimierung der verschieden Herstellungsprozesse
• Vergleichen der unterschiedlichen Herstellungsverfahren
• Optimieren der Wellenleiter auf Masshaltigkeit, Strukturgenauigkeit und Propagationsverluste
• Durchfuhrung von Zuverlassigkeitstests

Mit den aus dieser Arbeit gewonnen Erkenntnissen konnten die einzelnen Prozessschritte der Herstellung der Wellenleiterstrukturen verbessert werden. Aus Folge daraus konnten Wellenleiter mit Propagationsverlusten von weniger als 0.05 dB/cm bei einer Lichtwellenlange von 850nm hergestellt werden.